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晶圆传输系统-SCARA型晶圆搬运机械手
| 单臂 8”/12”晶圆适用 真空吸臂 贝努利吸臂 边沿夹持臂 龙旋风吸臂 0°-180°翻转吸臂 大气洁净型 真空型 |
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