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産品展示

晶圓傳輸系統-EFEM

8”/12”晶圓適用
相容Wafer cassette / FOUP / FOSB / Box進出料
可選貝努利晶圓搬運科技
配寘12”裝卸料塢
晶圓智慧料籃內測繪
非接觸晶圓校正
工控機+Windows系統
SECS/GEM或簡易聯網能力